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國產質量流量控制器

更新時間••☁·:2019-08-19

簡要描述••☁·:

國產質量流量控制器耐壓100bar(產品在50MPa壓力下透過打壓測試)·╃│,可測量腐蝕性氣體·╃│,結構緊湊·╃│,重複性高·╃│,響應時間快·╃│,價效比高·╃│,可廣泛用於裝置配套✘✘·。Z大流量可測到100SLPM·╃│,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM✘✘·。

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一│☁↟、國產質量流量控制器特點

· 測量質量流量

· 無需溫度和壓力補償

· 結構緊湊

· 精度高

· 工作壓力高

· 響應時間快

· 重複性高

二│☁↟、國產質量流量控制器產品簡介••☁·:

本體耐壓100bar·╃│,可測量腐蝕性氣體·╃│,結構緊湊·╃│,重複性高·╃│,響應時間快·╃│,價效比高·╃│,可廣泛用於裝置配套✘✘·。氣體大流量可測到100SLPM·╃│,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM✘✘·。

三│☁↟、技術引數

型號

質量流量計/質量流量控制器

流量範圍(N2)

  10SCCM~100SLPM

  響應時間

  <2 sec

精準度

  ≤±1% FS

  重複精度

  ±0.2% FS

  輸入/輸出訊號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

 耐壓

  <100bar

工作環境溫度

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

使用範圍

  2 ~ 100%

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