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Hammer質量流量控制器

更新時間↟╃₪:2019-08-19

簡要描述↟╃₪:

Hammer質量流量控制器Z小控制量程低至0-0.5SCCM✘▩☁,採用層流差壓原理✘▩☁,可本地顯示溫度✘▩☁,絕壓✘▩☁,質量流量和體積流量✘▩☁,耐壓1MPa✘▩☁,低壓差條件下亦可使用│·。內建130種氣體✘▩☁,大大節約使用者成本│·。反應時間快│·。

  免費諮詢↟╃₪:86-10-87241391

  發郵件給我們↟╃₪:info@hammertech.com.cn

一◕₪╃、Hammer質量流量控制器系列

MC 標準系列

控制響應快◕₪╃、穩定的流量控制器│·。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體│·。艾裡卡特®R系列閥門為無摩擦閥門✘▩☁,可精密控制大流量的氣體流量✘▩☁,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門│·。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響✘▩☁,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾裡卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力✘▩☁,是航空航天◕₪╃、環境氣體分析等應用的選擇;大量程↟╃₪:0-500 slpm│·。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構│·。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業系列

可快速◕₪╃、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器✘▩☁,可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容✘▩☁,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準│·。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ✘▩☁,專門用於真空應用│·。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS│·。大量程↟╃₪:0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向✘▩☁,可正向或反向控制氣體流量│·。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列│·。  點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列

二◕₪╃、質量流量控制器常用選配項

?     後置閥門✘▩☁,最佳化真空及背壓應用的控制

?     批次控制模式✘▩☁,依靠快速的閥門響應來分配流量✘▩☁,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許裝置用於危險環境

?     9針或15針D-Sub等連線介面可選

?     通訊模式有Modbus-RTU◕₪╃、RS-232◕₪╃、RS-485◕₪╃、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合

三◕₪╃、Hammer質量流量控制器效能引數

指標

MFC

量程

0.5SCCM✘▩☁,1SCCM✘▩☁,2SCCM✘▩☁,5SCCM✘▩☁,10SCCM✘▩☁,50SCCM✘▩☁,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度↟╃₪:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重複性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度範圍

-10~50

零點漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

溼度範圍

0-100%

測量流量範圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出訊號(數字)

質量流量◕₪╃、體積流量◕₪╃、壓力和溫度

數字訊號可選

RS485✘▩☁,Modbus✘▩☁,Profibus

輸出訊號(模擬)

質量流量◕₪╃、體積流量◕₪╃、壓力和溫度

模擬訊號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC✘▩☁,4-20mA

電氣連線

8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為↟╃₪:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為↟╃₪:0.055A)

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