更新時間↟╃₪：2019-08-19
Hammer質量流量控制器Z小控制量程低至0-0.5SCCM✘▩☁，採用層流差壓原理✘▩☁，可本地顯示溫度✘▩☁，絕壓✘▩☁，質量流量和體積流量✘▩☁，耐壓1MPa✘▩☁，低壓差條件下亦可使用│·。內建130種氣體✘▩☁，大大節約使用者成本│·。反應時間快│·。
免費諮詢↟╃₪：86-10-87241391
一◕₪╃、Hammer質量流量控制器系列
MC 標準系列
控制響應快◕₪╃、穩定的流量控制器│·。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體│·。艾裡卡特®R系列閥門為無摩擦閥門✘▩☁，可精密控制大流量的氣體流量✘▩☁，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門│·。
MCW / MCRW 低壓損系列
大限度減小壓損對系統的影響✘▩☁，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾裡卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力✘▩☁，是航空航天◕₪╃、環境氣體分析等應用的選擇；大量程↟╃₪：0-500 slpm│·。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構│·。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業系列
可快速◕₪╃、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器✘▩☁，可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容✘▩☁，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準│·。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ✘▩☁，專門用於真空應用│·。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS│·。大量程↟╃₪：0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
*雙向✘▩☁，可正向或反向控制氣體流量│·。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列│·。 點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列
二◕₪╃、質量流量控制器常用選配項
? 後置閥門✘▩☁，最佳化真空及背壓應用的控制
? 批次控制模式✘▩☁，依靠快速的閥門響應來分配流量✘▩☁，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許裝置用於危險環境
? 9針或15針D-Sub等連線介面可選
? 通訊模式有Modbus-RTU◕₪╃、RS-232◕₪╃、RS-485◕₪╃、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合
三◕₪╃、Hammer質量流量控制器效能引數
| 指標 | MFC |
| 量程 | 0.5SCCM✘▩☁，1SCCM✘▩☁，2SCCM✘▩☁，5SCCM✘▩☁，10SCCM✘▩☁，50SCCM✘▩☁，100SCCM....20SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度↟╃₪：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
| 重複性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時間 | 100ms |
| 標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度範圍 | -10～50 |
| 零點漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 溼度範圍 | 0-100% |
| 測量流量範圍 | 128％（過流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出訊號（數字） | 質量流量◕₪╃、體積流量◕₪╃、壓力和溫度 |
| 數字訊號可選 | RS485✘▩☁，Modbus✘▩☁，Profibus |
| 輸出訊號（模擬） | 質量流量◕₪╃、體積流量◕₪╃、壓力和溫度 |
| 模擬訊號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC✘▩☁，4-20mA |
| 電氣連線 | 8針/9針/15針（根據不同型別流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為↟╃₪：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為↟╃₪：0.055A） |
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