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國產質量流量計

更新時間│✘:2019-08-19

簡要描述│✘:

國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下透過打壓測試)◕☁,可測量腐蝕性氣體◕☁,結構緊湊◕☁,重複性高◕☁,響應時間快◕☁,價效比高◕☁,可廣泛用於裝置配套₪│。Z大流量可測到100SLPM◕☁,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM₪│。

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一·₪、國產質量流量計產品特點

· 測量質量流量

· 無需溫度和壓力補償

· 結構緊湊

· 精度高

· 工作壓力高

· 響應時間快

· 重複性高

二·₪、國產質量流量計產品簡介│✘:

本體耐壓100bar◕☁,可測量腐蝕性氣體◕☁,結構緊湊◕☁,重複性高◕☁,響應時間快◕☁,價效比高◕☁,可廣泛用於裝置配套₪│。氣體大流量可測到100SLPM◕☁,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM₪│。

三·₪、國產質量流量計技術引數

型號

質量流量計/質量流量控制器

流量範圍(N2)

  10SCCM~100SLPM

  響應時間

  <2 sec

精準度

  ≤±1% FS

  重複精度

  ±0.2% FS

  輸入/輸出訊號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

 耐壓

  <100bar

工作環境溫度

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

使用範圍

  2 ~ 100%

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