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質量流量控制器

更新時間✘₪:2022-06-20

簡要描述✘₪:

質量流量控制器│╃✘✘,Z小控制量程低至0-0.5SCCM│╃✘✘,採用層流差壓原理│╃✘✘,可本地顯示溫度│╃✘✘,絕壓│╃✘✘,質量流量和體積流量│╃✘✘,耐壓1MPa│╃✘✘,低壓差條件下亦可使用•◕╃₪。內建130種氣體│╃✘✘,大大節約使用者成本•◕╃₪。反應時間快•◕╃₪。

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一◕·、產品系列

MC 標準系列

控制響應快◕·、穩定的流量控制器•◕╃₪。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體•◕╃₪。艾裡卡特®R系列閥門為無摩擦閥門│╃✘✘,可精密控制大流量的氣體流量│╃✘✘,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門•◕╃₪。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響│╃✘✘,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾裡卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力│╃✘✘,是航空航天◕·、環境氣體分析等應用的選擇;大量程✘₪:0-500 slpm•◕╃₪。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構•◕╃₪。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業系列

可快速◕·、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器│╃✘✘,可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容│╃✘✘,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準•◕╃₪。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 │╃✘✘,專門用於真空應用•◕╃₪。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS•◕╃₪。大量程✘₪:0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向│╃✘✘,可正向或反向控制氣體流量•◕╃₪。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列•◕╃₪。  點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列

二◕·、質量流量控制器常用選配項

?     後置閥門│╃✘✘,最佳化真空及背壓應用的控制

?     批次控制模式│╃✘✘,依靠快速的閥門響應來分配流量│╃✘✘,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證12 / ATEX認證12區允許裝置用於危險環境

?     9針或15D-Sub等連線介面可選

?     通訊模式有Modbus-RTU◕·、RS-232◕·、RS-485◕·、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合

三◕·、效能引數

指標

MFC

量程

0.5SCCM│╃✘✘,1SCCM│╃✘✘,2SCCM│╃✘✘,5SCCM│╃✘✘,10SCCM│╃✘✘,50SCCM│╃✘✘,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度✘₪:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重複性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度範圍

-10~50

零點漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

溼度範圍

0-100%

測量流量範圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出訊號(數字)

質量流量◕·、體積流量◕·、壓力和溫度

數字訊號可選

RS485│╃✘✘,Modbus│╃✘✘,Profibus

輸出訊號(模擬)

質量流量◕·、體積流量◕·、壓力和溫度

模擬訊號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC│╃✘✘,4-20mA

電氣連線

8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為✘₪:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為✘₪:0.055A)

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