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質量流量控制器✘₪◕··,耐腐蝕

更新時間✘╃:2022-07-05

簡要描述✘╃:

質量流量控制器✘₪◕··,耐腐蝕採用全316L不鏽鋼結構及密封的316L不鏽鋼感測器✘₪◕··,可根據不同應用需求選擇相應的彈性密封材料✘₪◕··, 如✘╃:FFKM↟·◕◕、EPDM↟·◕◕、Viton及Buna-n等₪✘。Alicat的層流壓差技術能以 驚人的速度測量氣體質量流量✘₪◕··,且具備一系列標準效能✘₪◕··,如✘╃:200✘╃:1量程可調比↟·◕◕、內建30種氣體可選↟·◕◕、多功能數字顯示屏及有條件的終身質保等₪✘。

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一↟·◕◕、質量流量控制器✘₪◕··,耐腐蝕產品優勢

操作簡單

Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單✘₪◕··,使用者可透過多功能數字顯示屏調節引數✘₪◕··,無需連線電腦或其它任何複雜的程式設計軟體₪✘。

精確控制

Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg+0.2% F.S.)✘₪◕··,幾乎所有型號透過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)₪✘。

高性價比

Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小✘₪◕··,從而降低了系統運營的成本✘₪◕··,且相比於同類產品✘₪◕··,其壓損較低✘₪◕··,降低壓損意味著更多氣體進入到系統中✘₪◕··,而不是停留在測量&控制裝置中₪✘。除質量流量外✘₪◕··,Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量↟·◕◕、壓力和溫度✘₪◕··,您無需另外採購和安裝其它裝置₪✘。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量✘₪◕··,是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法₪✘。

效能

MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM3000SLPM的滿量程的任何流量✘₪◕··,除了RS-232數字訊號輸出✘₪◕··,還配有多種模擬訊號輸出₪✘。MS系列質量流量計亦有行動式型號(MBS系列)✘₪◕··,採用一塊普通9伏電池供電✘₪◕··,即成為一款適用於腐蝕性氣體的二等標準流量校準裝置₪✘。

反應靈敏

與相應標準型M/MC系列相同✘₪◕··,MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小於10毫秒↟·◕◕、控制響應為100毫秒₪✘。

高重複性

Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件✘₪◕··,所有零件都被內建固定✘₪◕··,腔體內不存在物理變化✘₪◕··,從而具有較高的*性和重複性₪✘。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重複性可達±0.2% F.S₪✘。

值得信賴

現有超過90000Alicat裝置正被使用在不同領域中✘₪◕··,質量流量控制器主要應用於醫藥↟·◕◕、半導體↟·◕◕、燃料電池↟·◕◕、如✘╃:科學研究↟·◕◕、洩漏測試↟·◕◕、環境監測↟·◕◕、 真空鍍膜↟·◕◕、半導體↟·◕◕、汽車製造↟·◕◕、光伏↟·◕◕、燃料電池↟·◕◕、光纖製造↟·◕◕、計量以及過程工藝氣體測量&控制等₪✘。所有Alicat 裝置均具有NIST可溯源校準證書₪✘。

二↟·◕◕、質量流量控制器✘₪◕··,耐腐蝕標準效能

  • 多功能數字顯示屏

  • 顯示多種測量引數✘╃:質量流量↟·◕◕、體積流量↟·◕◕、溫度和壓力

  • 316L不鏽鋼本體&感測器

  • FFKM↟·◕◕、Viton↟·◕◕、BunaEPDM密封材料可選

  • 可調節PID演算法 (僅用於質量流量控制器)

  • 內建130種常用氣體可選 ✘₪◕··,開放COMPOSER™ — 氣體編輯器✘₪◕··,允許使用者自定義混合氣體組分

  • 200:1 量程可調比

三↟·◕◕、效能引數

指標

ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器

量程

0.5SCCM✘₪◕··,1SCCM✘₪◕··,2SCCM✘₪◕··,5SCCM✘₪◕··,10SCCM✘₪◕··,50SCCM✘₪◕··,100SCCM....1500SLPM✘₪◕··,2000SLPM✘₪◕··,3000SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度✘╃:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重複性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度範圍

-10~50

零點漂移

0.02

量程漂移

0.02

溼度範圍

0-100%

測量流量範圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出訊號(數字)

質量流量↟·◕◕、體積流量↟·◕◕、壓力和溫度

數字訊號可選

RS485✘₪◕··,Modbus✘₪◕··,Profibus

輸出訊號(模擬)

質量流量↟·◕◕、體積流量↟·◕◕、壓力和溫度

模擬訊號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC✘₪◕··,4-20mA

電氣連線

8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為✘╃:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為✘╃:0.055A)


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