Parker質量流量控制器

一☁↟₪₪、Parker質量控制器設計特點 
熱式原理 
一體化設計 
滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM 
響應時間不超過 2 秒鐘 
操作壓力可達 20.7MPa 
對安裝位置不敏感 
316SS 材質·•₪✘•，允許測量腐蝕性氣體 
無直管段安裝要求 
單電源供電 

二☁↟₪₪、Parker質量流量控制器技術引數 
流量範圍 ╃••╃╃：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ·•₪✘•，具體請參考表一 
響應時間 ╃••╃╃： 1 ～ 2 秒 
精 度 ╃••╃╃： ± 1% 滿量程（除 204A 型） 
---------± 1± 1.5%.滿量程（ 204A 型） 
重 復 性 ╃••╃╃： ± 0.2% 滿量程 
量 程 比 ╃••╃╃： 50:1 （ 2%-100% 滿量程） 
環境和操作溫度 ╃••╃╃： -10 ～ 70 ℃ 
大操作壓力 ╃••╃╃： 3000PSIG （ 20.7MPa ）·•₪✘•，具體請參考資料

零點漂移╃••╃╃： ± 0.05 % 滿量程 / ℃ 
範圍漂移 ╃••╃╃： ± 0.05 % 讀數 / ℃ 
壓力漂移 ╃••╃╃： 0.1%/atm （相對於 N 2 ） 
安裝方向 ╃••╃╃： 對位置不敏感 
預熱時間 ╃••╃╃： 10 分鐘 
電氣連線 ╃••╃╃： 卡式 （ 20 針）或 D 型（ 9 針） 
設定點輸入流量訊號輸出 ╃••╃╃：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA

供應電源 ╃••╃╃： 
電壓輸出╃••╃╃：＋ 12( ± 5 ％ ) （僅適用於 0-5VDC 和 1-5VDC 流量訊號輸出）或  15( ± 10 ％ )VDC 
電流輸出╃••╃╃：＋ 15( ± 5 ％ ) 或  24( ± 15 ％ )VDC 
電流消耗╃••╃╃：＜ 250mAdc 
重 量 ╃••╃╃：請參考表一

三☁↟₪₪、Parker質量流量控制器結構材質

主體╃••╃╃： 316SS 
感測器元件 ╃••╃╃： 316LSS 
孔╃••╃╃： 316SS 
閥構成部件 （接液）╃••╃╃： 
302SS ·•₪✘•， 316SS ·•₪✘•， 430FSS ·•₪✘•， Sandvik?1802 （除 202 ☁↟₪₪、 221 ☁↟₪₪、 222 和 251 型）；302SS ·•₪✘•， 316SS ·•₪✘•， Sandvik?1802 （ 202 ☁↟₪₪、 221 ☁↟₪₪、 222 和 251 型） 
密封材質（" O "型環和閥座）╃••╃╃： 
Buna N ·•₪✘•， EPDM ·•₪✘•， Kalrez ·•₪✘•， Neoprene ·•₪✘•， Viton （除 202A ☁↟₪₪、 203A 和 204A 型）；Buna N ·•₪✘•， Viton（ 202A ☁↟₪₪、 203A 和 204A 型） 
過程連線╃••╃╃： 316SS

四☁↟₪₪、Parker質量流量控制器選型表