美國ALICAT MCD雙向氣體質量流量控制器

一◕│·、美國ALICAT MCD雙向氣體質量流量控制器應用領域

• 雙向測量氣體的質量流量◕│·、體積流量◕│·、壓力和溫度
• 控制來自壓縮氣體或真空泵的氣體的質量流量或體積流量
• 控制流經氣體的壓力或背壓
• 控制密閉系統內壓力(自帶排氣)

二◕│·、美國ALICAT MCD雙向氣體質量流量控制器產品優勢

具備ALICAT常規產品所有的優勢✘↟，如響應時間快✘↟，操作簡單✘↟，控制精度高✘↟，重複性高等

三◕│·、產品效能

標準效能

• 多功能數字顯示屏
• 顯示多種測量引數☁·↟：質量流量◕│·、體積流量◕│·、溫度和壓力
• 低壓損
• 無需預熱
• Viton密封
• 8針mini-DIN電訊號介面
• 標準圓形電源介面
• RS-232多點式數字訊號輸入&輸出
• 0-5Vdc◕│·、0-10Vdc◕│·、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬訊號輸入&輸出可選
• 可調節PID演算法
• 內建30種氣體可選
• 200:1 量程可調比
• NPT接頭
• 有條件的終身質保

可選效能

• 累加器
• 6針◕│·、DB9或DB15電訊號介面
• ProfiBUS數字訊號輸出
• RS-485數字訊號輸出
• 第二種模擬訊號輸出
• 遠端顯示屏
• EPDM密封
• NeSSI本體
• 氧氣清潔
• SAE接頭
• VCR, VCO接頭
• 5VDC◕│·、12VDC◕│·、24VDC排氣量報警(過高或過低)
• 額外標定點
• 定製混個氣體（多4種）
• 不鏽鋼閥門
• 整合式電位計控制

四◕│·、產品引數

• 可控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的滿量程的任何流量✘↟，量程可調比為200☁·↟：1
• 精度&重複性☁·↟：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)   (注☁·↟：該處F.S.為雙向滿量程之和)
• 控制響應時間☁·↟：＜100毫秒
• 大入口壓力☁·↟：145 psig (MCD & MCDS)◕│·、50 psig (MCDW)