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韓國萊茵泰可氣體質量流量控制器

更新時間▩╃•:2023-01-05

簡要描述▩╃•:

韓國萊茵泰可氣體質量流量控制器耐壓90bar││₪,可測量腐蝕性氣體││₪,結構緊湊││₪,重複性高││₪,響應時間快││₪,價效比高││₪,可廣泛用於裝置配套▩·。韓國LINETECH經濟型氣體質量流量控制器Z大流量可測到300SLPM││₪,質量流量計的Z大流量可測到1000SLPM▩·。

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一✘↟、韓國萊茵泰可氣體質量流量控制器產品特點

  • 測量質量流量
  • 無需溫度和壓力補償
  • 結構緊湊
  • 精度高
  • 工作壓力高
  • 響應時間快
  • 重複性高

二✘↟、韓國萊茵泰可氣體質量流量控制器技術引數

型號

質量流量計

質量流量控制器

流量範圍(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  響應時間

  <2 sec

  <2 sec

精準度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重複精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  輸入/輸出訊號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐壓

  <90bar

  0-30SLPM││₪,<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作環境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用範圍

  2 ~ 100%

  2~ 100%


三✘↟、介面尺寸


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