更新時間·│•✘✘:2023-01-05
艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器採用層流差壓原理✘▩││◕,可本地顯示溫度✘▩││◕,絕壓✘▩││◕,質量流量和體積流量✘▩││◕,美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器耐壓1MPa✘▩││◕,低壓差條件下亦可使用│╃╃·│。美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器內建130種氣體✘▩││◕,大大節約使用者成本│╃╃·│。反應時間快│╃╃·│。
免費諮詢·│•✘✘:86-10-87241391
一·│、艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器產品特點
1·│、50毫秒內完成穩定的控制響應
精確·│、穩定的流量取決於控制響應速度✘▩││◕,艾裡卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值│╃╃·│。快速·│、可重複·│、穩定↟•!
擁有可靠的穩定性及響應速度✘▩││◕,艾裡卡特?質量流量控制器總是一擊擊中✘▩││◕,為快的質量流量控制器↟•!採用艾裡卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合✘▩││◕,使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼│╃╃·│。
2·│、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應
? 允許使用者自行調節PID以獲得的速度和穩定性
? 定製化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性
? 同一臺裝置控制質量流量·│、體積流量或壓力
? 瞬間啟動·│、無需預熱·│•✘✘:1秒內即可開始流量控制
二·│、艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器產品系列
MC 標準系列
控制響應快·│、穩定的流量控制器│╃╃·│。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體│╃╃·│。艾裡卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門✘▩││◕,可精密控制大流量的氣體流量✘▩││◕,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門│╃╃·│。
MCW / MCRW 低壓損系列
大限度減小壓損對系統的影響✘▩││◕,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾裡卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力✘▩││◕,是航空航天·│、環境氣體分析等應用的選擇;大量程·│•✘✘:0-500 slpm│╃╃·│。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構│╃╃·│。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業系列
可快速·│、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器✘▩││◕,可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容✘▩││◕,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準│╃╃·│。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ✘▩││◕,專門用於真空應用│╃╃·│。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS│╃╃·│。大量程·│•✘✘:0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
*雙向質量流量控制器✘▩││◕,可正向或反向控制氣體流量│╃╃·│。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列│╃╃·│。 點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列
三·│、常用選配項
? 後置閥門✘▩││◕,最佳化真空及背壓應用的控制
? 批次控制模式✘▩││◕,依靠快速的閥門響應來分配流量✘▩││◕,包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許裝置用於危險環境
? 9針或15針D-Sub等連線介面可選
? 通訊模式有Modbus-RTU·│、RS-232·│、RS-485·│、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合
四·│、效能引數
指標 | 質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM✘▩││◕,1SCCM✘▩││◕,2SCCM✘▩││◕,5SCCM✘▩││◕,10SCCM✘▩││◕,50SCCM✘▩││◕,100SCCM....1500SLPM✘▩││◕,2000SLPM✘▩││◕,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度·│•✘✘:±0.4%讀數±0.2%滿量程) |
重複性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度範圍 | -10~50 |
零點漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
溼度範圍 | 0-100% |
測量流量範圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出訊號(數字) | 質量流量·│、體積流量·│、壓力和溫度 |
數字訊號可選 | RS485✘▩││◕,Modbus✘▩││◕,Profibus |
輸出訊號(模擬) | 質量流量·│、體積流量·│、壓力和溫度 |
模擬訊號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC✘▩││◕,4-20mA |
電氣連線 | 8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時為·│•✘✘:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時為·│•✘✘:0.055A) |
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