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艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器

更新時間·│•✘✘:2023-01-05

簡要描述·│•✘✘:

艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器採用層流差壓原理✘▩││◕,可本地顯示溫度✘▩││◕,絕壓✘▩││◕,質量流量和體積流量✘▩││◕,美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器耐壓1MPa✘▩││◕,低壓差條件下亦可使用│╃╃·│。美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器內建130種氣體✘▩││◕,大大節約使用者成本│╃╃·│。反應時間快│╃╃·│。

  免費諮詢·│•✘✘:86-10-87241391

  發郵件給我們·│•✘✘:info@hammertech.com.cn

一·│、艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器產品特點

1·│、50毫秒內完成穩定的控制響應

精確·│、穩定的流量取決於控制響應速度✘▩││◕,艾裡卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值│╃╃·│。快速·│、可重複·│、穩定↟•!

擁有可靠的穩定性及響應速度✘▩││◕,艾裡卡特?質量流量控制器總是一擊擊中✘▩││◕,為快的質量流量控制器↟•!採用艾裡卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合✘▩││◕,使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼│╃╃·│。

2·│、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應

?     允許使用者自行調節PID以獲得的速度和穩定性

?     定製化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性

?     同一臺裝置控制質量流量·│、體積流量或壓力

?     瞬間啟動·│、無需預熱·│•✘✘:1秒內即可開始流量控制

二·│、艾裡卡特高精度氣體質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

控制響應快·│、穩定的流量控制器│╃╃·│。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體│╃╃·│。艾裡卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門✘▩││◕,可精密控制大流量的氣體流量✘▩││◕,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門│╃╃·│。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響✘▩││◕,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾裡卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力✘▩││◕,是航空航天·│、環境氣體分析等應用的選擇;大量程·│•✘✘:0-500 slpm│╃╃·│。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構│╃╃·│。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業系列

可快速·│、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器✘▩││◕,可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容✘▩││◕,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準│╃╃·│。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ✘▩││◕,專門用於真空應用│╃╃·│。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS│╃╃·│。大量程·│•✘✘:0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向質量流量控制器✘▩││◕,可正向或反向控制氣體流量│╃╃·│。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列│╃╃·│。  點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列

三·│、常用選配項

?     後置閥門✘▩││◕,最佳化真空及背壓應用的控制

?     批次控制模式✘▩││◕,依靠快速的閥門響應來分配流量✘▩││◕,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證12 / ATEX認證12區允許裝置用於危險環境

?     9針或15D-Sub等連線介面可選

?     通訊模式有Modbus-RTU·│、RS-232·│、RS-485·│、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合

四·│、效能引數

指標

質量流量控制器

量程

0.5SCCM✘▩││◕,1SCCM✘▩││◕,2SCCM✘▩││◕,5SCCM✘▩││◕,10SCCM✘▩││◕,50SCCM✘▩││◕,100SCCM....1500SLPM✘▩││◕,2000SLPM✘▩││◕,3000SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度·│•✘✘:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重複性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度範圍

-10~50

零點漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

溼度範圍

0-100%

測量流量範圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出訊號(數字)

質量流量·│、體積流量·│、壓力和溫度

數字訊號可選

RS485✘▩││◕,Modbus✘▩││◕,Profibus

輸出訊號(模擬)

質量流量·│、體積流量·│、壓力和溫度

模擬訊號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC✘▩││◕,4-20mA

電氣連線

8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為·│•✘✘:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為·│•✘✘:0.055A)

留言框

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    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字)✘▩││◕,如·│•✘✘:三加四=7
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