艾裡卡特差壓式氣體質量流量控制器

一▩▩•、艾裡卡特差壓式氣體質量流量控制器產品特點

1▩▩•、50毫秒內完成穩定的控制響應

精確▩▩•、穩定的流量取決於控制響應速度☁╃，艾裡卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值·│✘╃。快速▩▩•、可重複▩▩•、穩定✘▩·✘•！

擁有可靠的穩定性及響應速度☁╃，艾裡卡特?質量流量控制器總是一擊擊中☁╃，為快的質量流量控制器✘▩·✘•！採用艾裡卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合☁╃，使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼·│✘╃。

2▩▩•、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應

?     允許使用者自行調節PID以獲得的速度和穩定性

?     定製化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性

?     同一臺裝置控制質量流量▩▩•、體積流量或壓力

?     瞬間啟動▩▩•、無需預熱✘₪╃☁：1秒內即可開始流量控制

二▩▩•、艾裡卡特差壓式氣體質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

控制響應快▩▩•、穩定的流量控制器·│✘╃。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體·│✘╃。艾裡卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門☁╃，可精密控制大流量的氣體流量☁╃，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定製閥門·│✘╃。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對系統的影響☁╃，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾裡卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力☁╃，是航空航天▩▩•、環境氣體分析等應用的選擇；大量程✘₪╃☁：0-500 slpm·│✘╃。點選這裡瞭解更多關於Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可採用適用於腐蝕性氣體的316L不鏽鋼結構·│✘╃。 點選這裡瞭解更多關於耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業系列

可快速▩▩•、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器☁╃，可任意定製引腳功能使之與您的控制系統相容☁╃，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準·│✘╃。MCV系列另增加了後置的氣動截至閥 ☁╃，專門用於真空應用·│✘╃。可定製相應的防腐蝕系列MCES / MCVS·│✘╃。大量程✘₪╃☁：0-20 slpm. 點選這裡瞭解更多關於半導體行業系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向質量流量控制器☁╃，可正向或反向控制氣體流量·│✘╃。可定製低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列·│✘╃。  點選這裡瞭解更多關於雙向質量流量&壓力控制器系列

三▩▩•、ALICAT差壓式質量流量控制器常用選配項

?     後置閥門☁╃，最佳化真空及背壓應用的控制

?     批次控制模式☁╃，依靠快速的閥門響應來分配流量☁╃，包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許裝置用於危險環境

?     9針或15針D-Sub等連線介面可選

?     通訊模式有Modbus-RTU▩▩•、RS-232▩▩•、RS-485▩▩•、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用於光線不足的場合

四▩▩•、效能引數