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ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器

更新時間₪╃:2019-06-14

簡要描述₪╃:

ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器採用全316L不鏽鋼結構及密封的316L不鏽鋼感測器·◕,可根據不同應用需求選擇相應的彈性密封材料·◕, 如₪╃:FFKM•✘、EPDM•✘、Viton及Buna-n等••。Alicat的層流壓差技術能以 驚人的速度測量氣體質量流量·◕,且具備一系列標準效能·◕,如₪╃:200₪╃:1量程可調比•✘、內建30種氣體可選•✘、多功能數字顯示屏及有條件的終身質保等••。

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一•✘、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器產品優勢

操作簡單

Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單·◕,使用者可透過多功能數字顯示屏調節引數·◕,無需連線電腦或其它任何複雜的程式設計軟體••。

精確控制

Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)·◕,幾乎所有型號透過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)••。

高性價比

Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小·◕,從而降低了系統運營的成本·◕,且相比於同類產品·◕,其壓損較低·◕,降低壓損意味著更多氣體進入到系統中·◕,而不是停留在測量&控制裝置中••。除質量流量外·◕,Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量•✘、壓力和溫度·◕,您無需另外採購和安裝其它裝置••。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量·◕,是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法••。MCS系列的模組化設計使其成為真空應用的佳選擇••。

效能

MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM3000SLPM的滿量程的任何流量·◕,除了RS-232數字訊號輸出·◕,還配有多種模擬訊號輸出••。MS系列質量流量計亦有行動式型號(MBS系列)·◕,採用一塊普通9伏電池供電·◕,即成為一款適用於腐蝕性氣體的二等標準流量校準裝置••。

反應靈敏

與相應標準型M/MC系列相同·◕,MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小於10毫秒•✘、控制響應為100毫秒••。

高重複性

Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件·◕,所有零件都被內建固定·◕,腔體內不存在物理變化·◕,從而具有較高的*性和重複性••。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重複性可達±0.2% F.S••。

值得信賴

現有超過90000Alicat裝置正被使用在不同領域中·◕,質量流量控制器主要應用於醫藥•✘、半導體•✘、燃料電池•✘、如₪╃:科學研究•✘、洩漏測試•✘、環境監測•✘、 真空鍍膜•✘、半導體•✘、汽車製造•✘、光伏•✘、燃料電池•✘、光纖製造•✘、計量以及過程工藝氣體測量&控制等••。所有Alicat 裝置均具有NIST可溯源校準證書••。

二•✘、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器標準效能

  • 多功能數字顯示屏
  • 顯示多種測量引數₪╃:質量流量•✘、體積流量•✘、溫度和壓力
  • 低壓損
  • 無需預熱
  • 316L不鏽鋼本體&感測器
  • FFKM•✘、Viton•✘、BunaEPDM密封材料可選
  • 可調節PID演算法 (僅用於質量流量控制器)
  • 內建130種常用氣體可選 ·◕,開放COMPOSER? — 氣體編輯器·◕,允許使用者自定義混合氣體組分
  • 200:1 量程可調比

三•✘、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器效能引數

指標

ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器

量程

0.5SCCM·◕,1SCCM·◕,2SCCM·◕,5SCCM·◕,10SCCM·◕,50SCCM·◕,100SCCM....1500SLPM·◕,2000SLPM·◕,3000SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度₪╃:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重複性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度範圍

-10~50

零點漂移

0.02

量程漂移

0.02

溼度範圍

0-100%

測量流量範圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出訊號(數字)

質量流量•✘、體積流量•✘、壓力和溫度

數字訊號可選

RS485·◕,Modbus·◕,Profibus

輸出訊號(模擬)

質量流量•✘、體積流量•✘、壓力和溫度

模擬訊號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC·◕,4-20mA

電氣連線

8針/9針/15針(根據不同型別流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為₪╃:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為₪╃:0.055A)


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