alicat氣體質量流量控制器由質量流量感測器╃◕│•✘、熱式原件╃◕│•✘、質量流量控制器調節閥和放大電路組成✘✘•，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分佈的熱傳導分佈效應而製成↟◕◕◕。

 

　　alicat氣體質量流量控制器是採用毛細管傳熱前後溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量✘✘•，將感測器測得的流量訊號進行放大✘✘•，然後與設定的電壓進行比較✘✘•，用所得的差值去驅動控制調節閥門✘✘•，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等↟◕◕◕。

 

　　接通電源後✘✘•，先預熱15分鐘✘✘•，再通氣工作✘✘•，以保證測量的準確度↟◕◕◕。氣體質量流量控制器切忌液體和油汙✘✘•，不能使用在液體介質中工作✘✘•，只能使用在氣體工作介質中↟◕◕◕。

 

　　且氣體要是潔淨╃◕│•✘、乾燥的✘✘•，沒有微粒和潮氣↟◕◕◕。否則✘✘•，須在氣路中加裝過濾器╃◕│•✘、乾燥器等✘✘•，使之符合要求↟◕◕◕。要注意保持控制器的氣路潔淨✘✘•，一旦被汙染✘✘•，將嚴重影響產品的準確度↟◕◕◕。

 

　　氣體質量流量控制器準確可靠的測量和控制氣體質量流量✘✘•，測量和控制精度高╃◕│•✘、零飄小✘✘•，測量和控制範圍寬✘✘•，測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響✘✘•，廣泛的應用於真空鍍膜裝置╃◕│•✘、半導體工藝裝置╃◕│•✘、化學化工實驗裝置╃◕│•✘、分析儀器╃◕│•✘、冶金材料工程╃◕│•✘、能源動力等各領域↟◕◕◕。

 

　　控制器的洩露率可以做到1×10－8Pa.m3／s✘✘•，並且氣體質量流量控制器的密封材質選用進口材質氟橡膠✘✘•，耐腐蝕抗氧化↟◕◕◕。所以對於氣體質量流量控制器在甲烷氣體使用上面完全符合要求✘✘•，並且得到客戶較高的使用反饋↟◕◕◕。